《纳米技术与精密工程》
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关键词中包括
pressure sensor
的文章
1
基于MEMS技术可植入微压力传感器的检测电路设计
Peng Guangbin1,2, Liu Jingquan1,2, Wang Longfei1,2, Chai Xin1,2
2013年1期 [90-][
Abstract
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1649
)
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2254KB]
(
1663
)
2
一种基于微型压力传感器的气压高度计设计
GUO Qi1, 2, ZHOU Zhaoying1, XIONG Wei3, LIU Shaopeng1
2012年4期 [337-341][
Abstract
](
1519
)
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425KB]
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1794
)
3
State-of-the-art and recent developments in micro/nanoscale pressure
sensors for smart wearable devices and health monitoring systems
2020年1期 [43-52][
Abstract
](
650
)
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1608KB]
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551
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4
Process Research on Preparation of BiFeO3 Nanofiber
Piezoelectric Pressure Sensor
盛伟光, 谭晓兰, 张久超
2016年5期 [373-378][
Abstract
](
779
)
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3293KB]
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878
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5
Design of MEMS High-Temperature Capacitance
Pressure Sensor Based on 4H-SiC
曹正威, 尹玉刚, 许姣, 张世名, 邹江波
2015年3期 [179-185][
Abstract
](
1142
)
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1806KB]
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956
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6
A Single-Chip Vacuum Package and Low-Stress Assembling Method for Resonant MEMS Pressure Sensor
张健1, 2, 王军波1, 曹明威1, 2, 陈德勇1
2013年6期 [492-496][
Abstract
](
1219
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1714KB]
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792
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7
Release Process and Performance Analysis of CMOS
Compatible M EMS Capacitive Barometric Pressure Sensor
王艳春1,2,黄庆安1 ,聂 萌1 ,余辉洋1
2012年5期 [464-468][
Abstract
](
999
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1614KB]
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869
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8
Influence of
Q
-Factor on Signal Transmission Perftormance of
Passive Pressure Sensor
熊继军1,2,杨 芳1,梁 庭1,2,牛坤旺1,李 叶1,王 凯1,崔天宏3
2012年5期 [429-433][
Abstract
](
948
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