《纳米技术与精密工程》
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MEMS process
的文章
1
Process Research on Preparation of BiFeO3 Nanofiber
Piezoelectric Pressure Sensor
盛伟光， 谭晓兰， 张久超
2016年5期 [373－378][
Abstract
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779
)
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3293KB]
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878
)
2
Release Process and Performance Analysis of CMOS
Compatible M EMS Capacitive Barometric Pressure Sensor
王艳春1,2，黄庆安1 ，聂 萌1 ，余辉洋1
2012年5期 [464－468][
Abstract
](
999
)
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pdf
1614KB]
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869
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