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    关键词中包括 MEMS process 的文章

1  Process Research on Preparation of BiFeO3 Nanofiber
Piezoelectric Pressure Sensor

 盛伟光, 谭晓兰, 张久超
2016年5期 [373-378][Abstract](779)[pdf 3293KB](878)
2  Release Process and Performance Analysis of CMOS
Compatible M EMS Capacitive Barometric Pressure Sensor

 王艳春1,2,黄庆安1 ,聂 萌1 ,余辉洋1
2012年5期 [464-468][Abstract](999)[pdf 1614KB](869)