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    关键词中包括 MEMS 的文章

1 A Piezoelectric Valve with Sealing Pair of Valve Core and Seat Fabricated by MEMS Technology
吕建路, 张德远, 蒋永刚, 陈华伟
2012年6期 [509-513][Abstract](1008)[pdf 1273KB](974)
2  基于MEMS技术可植入微压力传感器的检测电路设计
 Peng Guangbin1,2, Liu Jingquan1,2, Wang Longfei1,2, Chai Xin1,2
2013年1期 [90-][Abstract](1649)[pdf 2254KB](1663)
3 A ZnO Thin Film Based Piezoelectric Vibration Energy Harvester with Two Sensing Elements in Parallel Connection
王佩红1, 杜和军2
2013年4期 [309-303][Abstract](1418)[pdf 1089KB](885)
4  毫米波串联接触式MEMS开关的设计
 HOU Zhihao1, ZHU Feng1, YU Yuanwei1,2,3, ZHU Jian1,2
2012年4期 [318-321][Abstract](1991)[pdf 665KB](2129)
5 微纳米级键合强度分析
 RUAN Yong1, YOU Zheng1, ZHANG Da-Cheng2
2012年6期 [481-485][Abstract](1217)[pdf 2545KB](1236)
6  基于电磁激励的SOI鄄MEMS谐振式加速度计的闭环检测系统
 WANG Junbo1 , SHANG Yanlong1,2 , CHEN Deyong1 , SHI Qiang1,2 , LI Guangbei1,2
2012年4期 [322-326][Abstract](1825)[pdf 1675KB](1818)
7 Design of a test structure based on chevron-shaped thermal actuator for in-situ
measurement of the fracture strength of MEMS thin films

2019年4期 [163-168][Abstract](157)[pdf 796KB](204)
8  FlexMEMS-enabled hetero-integration for monolithic FBAR-above-IC oscillators
2019年3期 [105-109][Abstract](138)[pdf 775KB](138)
9 A Film Bulk Acoustic Liquid Concentration Sensor Integrated with Microchannel
刘梓枫, 梁骥, 张孟伦
2017年6期 [460-465][Abstract](720)[pdf 2284KB](912)
10 In Vivo Monitoring L-DOPA-Induced Glutamate Flux and Electrophysiological Signals with a Microelectrode Array
范心怡1,2 , 张松1,2, 宋轶琳1, 徐辉任1,2, 肖桂花1,2, 杨丽丽1,2, 蔡新霞1,2
2017年6期 [455-459][Abstract](790)[pdf 1168KB](879)
11 Design and Analysis of MEMS Safety and Arming Device under Triple Environment Forces
史春景, 邓炬锋, 郝永平, 刘双杰
2016年6期 [453-459][Abstract](743)[pdf 864KB](628)
12  Design of Resonant Temperature Sensitive Element of
Quartz Tuning Fork

 韩东祥, 邹江波, 张世名, 金小锋, 王建, 赵聪
2016年5期 [384-389][Abstract](813)[pdf 1969KB](916)
13  Process Research on Preparation of BiFeO3 Nanofiber
Piezoelectric Pressure Sensor

 盛伟光, 谭晓兰, 张久超
2016年5期 [373-378][Abstract](779)[pdf 3293KB](878)
14  Development and Application of a New Type of Portable Film Bulk
Acoustic Resonator Gas Sensor

 唐宁, 常烨, 刘晶, 屈贺幂, 张代化, 庞慰, 段学欣
2016年5期 [331-336][Abstract](885)[pdf 1557KB](967)
15  Applications and Challenges of MEMS Devices in Drug Delivery
 汤子凡, 张代化, 王艳艳, 段学欣
2016年5期 [322-330][Abstract](813)[pdf 2331KB](918)
16  Review on MEMS-Based Solid Propellant Micro-Propulsion
 刘建忠1, 梁导伦1, 汪洋2, 杨玉新3, 施伟1, 周俊虎1
2016年1期 [48-54][Abstract](758)[pdf 1695KB](739)
17 Dimension Measurement of MEMS Structure Based on CT Image Reconstructed Model
牛文杰1, 王晓斌1, 须 颖2, 徐箐箐1, 吕长荣1
2015年6期 [463-468][Abstract](620)[pdf 1823KB](560)
18  Design of MEMS High-Temperature Capacitance
Pressure Sensor Based on 4H-SiC

 曹正威, 尹玉刚, 许姣, 张世名, 邹江波
2015年3期 [179-185][Abstract](1142)[pdf 1806KB](956)
19  Design and Analysis of Si-Based MEMS Actuator under Dual Environment Forces
 刘双杰1, 郝永平1, 王兴2

2014年6期 [445-448][Abstract](743)[pdf 612KB](725)
20  Measurement Method for Micro Load Based on MEMS Planar Spring
 吴健, 刘同冈, 刘帅, 商金玮
2014年5期 [346-350][Abstract](981)[pdf 1612KB](774)
21  Dynamic Analysis of New Biaxial Loading MEMS Micro Actuator
 田文超, 陈志强
2014年5期 [334-339][Abstract](974)[pdf 1324KB](710)
22  Design and Test of “Sandwich”-Type Anti-Flow Noise Package Structure for MEMS Bionic Vector Hydrophone

 张斌珍1,2, 郝一龙1,2, 张国军3,4, 刘林仙4, 王盼盼4, 杨士莪3, 张文栋4
2014年2期 [79-84][Abstract](1097)[pdf 693KB](1034)
23  An Electrostatically Driven-Capacitively Sensed Silicon Resonator
Based on SOI-MEMS Technology

 焦海龙1, 2, 陈德勇1, 王军波1, 张 健1, 2, 曹明威1, 2
2013年5期 [447-452][Abstract](1718)[pdf 2736KB](1205)
24  Design and Test of Dual Axis Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using Electromagnetic Excitation
and Electromagnetic/Capacitive Detection

 罗 彪, Esashi Masayoshi, Ikeue Naokatsu, Tanaka Shuji, Ono Takahito, 吴 英
2013年5期 [430-435][Abstract](1328)[pdf 1053KB](750)
25 Three-Dimensional Reconstruction Techniques Based on One Single SEM Image
王琦琦1, 朱福运2, 孙明竹1, 张海霞2, 赵新1
2013年6期 [541-545][Abstract](1168)[pdf 1313KB](784)
26 MEMS Gyroscope Control by Sixth-Order Continuous-Time Band-Pass Sigma-Delta Modulator (ΣΔM) with Multi-Feedback Loops
陈方, 苑伟政, 常洪龙, 杜松杰
2013年6期 [503-510][Abstract](1256)[pdf 1937KB](712)
27 A Single-Chip Vacuum Package and Low-Stress Assembling Method for Resonant MEMS Pressure Sensor
张健1, 2, 王军波1, 曹明威1, 2, 陈德勇1
2013年6期 [492-496][Abstract](1219)[pdf 1714KB](792)
28  Development of Piezoelectric Driving MEMS Scanning Mirror
 王敏锐1 ,李文翔1,2,徐 征2
2012年5期 [469-473][Abstract](1005)[pdf 1273KB](845)
29  Release Process and Performance Analysis of CMOS
Compatible M EMS Capacitive Barometric Pressure Sensor

 王艳春1,2,黄庆安1 ,聂 萌1 ,余辉洋1
2012年5期 [464-468][Abstract](999)[pdf 1614KB](869)
30  Online Height Detection Method of MEMS Device Based on Laser Light Section
 曾 涛,石庚辰,张兵,王禛,王倩倩
2012年5期 [422-428][Abstract](983)[pdf 941KB](899)
31  Electrochemical Performance of Three-Dimensional
Microelectrode Arrays

 王晓峰,李翔宇,陈学坤,周 扬,尤 政
2012年5期 [400-405][Abstract](885)[pdf 1330KB](813)
32  Anode Flow Field Structures of M icro Direct M ethanol Fuel Cell
 张 鹏1,张宇峰1,2,盖琪琦1,刘晓为1,2
2012年03期 [204-210][Abstract](1001)[pdf 1975KB](754)
33 Development of Sandwich Structure Micropump with Check Microvalve Based on MEMS Technology
耿照新[1,2] ,邢冰冰[1] ,丁仁伟[1]
2012年2期 [113-119][Abstract](1048)[pdf 9192KB](795)
34  M otion M easurement M ethod 0f M EM S Based on Micro-Im age Processing
 赵 新,郭春艳,张玮光,孙明竹,卢桂章
2012年1期 [1-5][Abstract](871)[pdf 1463KB](791)
35  Design and Fabrication of MEMS Magnetic Sensor Based on
Capacitance Detection

 龙 亮1,2, 钟少龙1, 吴亚明1
2013年3期 [222-230][Abstract](1266)[pdf 2597KB](935)
36  Optimization Design of MEMS Bionic Vector Hydrophone
 刘林仙1,2, 张国军1,2, 张文栋1,2
2013年2期 [159-163][Abstract](1130)[pdf 1212KB](1048)
37  微纳材料修饰的硅基微穿孔板共振降噪复合器件
 Wu Shaohua1, Zhao Zhan1, Zhao Junjuan1, 2, Kong Deyi3,
Guo Lijun1, 2, Xiao Li1, 2
2013年3期 [242-246][Abstract](1304)[pdf 1200KB](866)
38 A MEMS Sensor for Blood Glucose Monitoring Based on Tissue Fluid Ultrafiltration Sampling
 刘亚欣, 姚玉峰, 黄 博, 钟 鸣
2013年3期 [202-210][Abstract](1262)[pdf 2737KB](1001)
39  Pseudo-Capacitive Behavior of Three-Dimensional Ruthenium Oxide Microelectrode Prepared by MEMS Technology
 文春明1,2,3, 温志渝1,2,3, 尤政4, 王晓峰4
2013年1期 [74-][Abstract](1085)[pdf 1581KB](1041)
40  Acceleration Fatigue Experiment of Polysilicon Beam
 韩 磊,居 易,陈龙龙,唐洁影
2011年5期 [464-467][Abstract](897)[pdf 2576KB](802)
41  A Low-Stress Anodic Bonding Method to Avoid Pull-in Effect
 侯占强,董培涛,肖定邦,吴学忠
2011年5期 [446-450][Abstract](944)[pdf 806KB](778)
42  Fabrication of Parylene-Based Flexible Microelectrode Arrays
 芮岳峰1,2,3,王亚军1,2,3,刘景全1,2,3,杨春生1,2,3
2011年5期 [422-426][Abstract](1049)[pdf 1447KB](840)
43  Design and Performance Test of MEMS Tri-Axial Micro-Force Probe Sensor
 王伟忠, 赵玉龙, 林启敬
2011年3期 [199-202][Abstract](875)[pdf 346KB](991)
44  离体电生理检测微电极阵列传感器的设计与制备
 SONG Yi-lin1,2, LIN Nan-sen1,2, LIU Chun-xiu1, LUO Jin-ping1, WANG Li1,CAI Xin-xia1,2
2011年3期 [189-193][Abstract](941)[pdf 295KB](878)
45 Design and Performance of Micromixer in Microchannel

王小章1, 王朝晖1,2, 张群明1,2, 王 敬1
2011年6期 [555-560][Abstract](895)[pdf 1210KB](710)
46  MEMS Geometric Parameters Measurement Based on
White Light Phase Shifting Interferometry

 马 龙, 郭 彤, 赵 健, 徐临燕, 陈津平, 傅 星, 胡小唐
2011年1期 [39-43][Abstract](927)[pdf 1212KB](853)
47  Improved Model of Residual Stress on Top Electrode Membrane of
Fixed-Fixed Beam RF MEMS Switches

 陈俊收1,2, 尤 政1,2, 李 滨1,2
2011年1期 [16-20][Abstract](980)[pdf 751KB](915)
48  anufacturing Technique and Measurement of Micro-Piezoelectric
Cantilever Beam for Ambient Vibration Energy Collection

 褚金奎, 李 涛, 韩冰峰, 熊叶胜
2011年1期 [1-5][Abstract](822)[pdf 1037KB](810)
49  Supercapacitor Performance of MEMS Three-Dimensional Silica-Based Microelectrode Arrays
 王晓峰, 陈学坤, 尹亚江, 尤政
2013年1期 [68-][Abstract](1155)[pdf 2625KB](1032)
50  Micro Capacitance Measuring Circuit Based on
Peak Detection for MEMS Device

 郭占社1,2,冯 舟1,2,杨延涛3,郑德智1,2,曹 乐1,2
2010年3期 [257-262][Abstract](844)[pdf 305KB](853)
51  Low-Voltage-Driven Electrophoresis Microchip and
Its Application in Biochemical Analysis

 徐 溢1,2,3,4,梁 静1,2,3,胡小国1,2,3,马亮波1,2,3,温志渝2,3,4
2010年3期 [245-250][Abstract](785)[pdf 347KB](860)
52  Design and Calibration of Sidewall Piezoresistive Force Sensor
 陈 涛1,孙立宁2,陈立国2,荣伟彬2,李昕欣3,王家畴3
2010年3期 [201-205][Abstract](855)[pdf 377KB](859)
53  Analysis and Experiment of Electromechanical Characteristics of
a Straight-Beam Grating Light Modulator

 金 珠1,2,温志渝1,2,张智海1,2,黄尚廉1,2
2010年1期 [42-46][Abstract](900)[pdf 372KB](841)
54 Design and Fabrication of Micro Hotplate Preconcentrator for Detection of Organophosphate Pesticide in Water
高晓光 程浩 贾建 李建平 何秀丽
2010年5期 [465-469][Abstract](1739)[pdf 952KB](1302)
55   新型静电驱动双向平动MEMS变形镜
 YAO Jun1, TAO Feng-gang1,2, REN Hao1,2, WANG Wei-min1,2, ZHUANG Xu-ye1
2012年4期 [313-317][Abstract](3106)[pdf 787KB](3862)
56 Ka波段DMTL移相器用RF MEMS电容式并联开关研制
 GAO Yang1, JIA Xiao-hui2, QIN Ran2, GUAN Cheng-qiu2
2012年6期 [491-496][Abstract](1238)[pdf 1203KB](1396)