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用于水中有机磷农药检测的微热板预富集芯片设计与制备(PDF)

《纳米技术与精密工程》[ISSN:1672-6030/CN:12-1351/O3]

期数:
2010年5期
页码:
465-469
栏目:
微机电系统
出版日期:
2010-09-15

文章信息/Info

Title:
Design and Fabrication of Micro Hotplate Preconcentrator for Detection of Organophosphate Pesticide in Water
作者:
高晓光 程浩 贾建 李建平 何秀丽
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190
Author(s):
GAO Xiao-guang CHENG Hao JIA Jian LI Jian-ping HE Xiu-li
关键词:
离子迁移率谱仪(IMS) 预富集芯片 MEMS 有机磷农药检测
Keywords:
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分类号:
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DOI:
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文献标识码:
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摘要:
有机磷农药(OPP)的大量使用已对环境水体造成污染.针对水中痕量有机磷农药检测的需要,设计并利用MEMS工艺制备了自带解吸加热器的微热板预富集芯片.为提高温度均匀性,芯片工作区背面留有硅膜;以马拉硫磷为例研究了预富集芯片工作区的温度均匀性及吸附膜厚度等对富集效果的影响.结果表明,提高预富集芯片解吸时工作区温度的均匀性有助于获得高的被测物浓度脉冲,从而改善离子迁移率谱仪(IMS)检测效果;在室温5 min搅拌采样的情况下,聚二甲基硅氧烷(PDMS)吸附膜厚度为30 μm的芯片富集效果优于PDMS膜厚度为65 μm和100 μm的芯片.
Abstract:
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参考文献/References

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备注/Memo

备注/Memo:
国家自然科学基金资助项目
更新日期/Last Update: 2010-10-20