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超精密飞刀切削加工表面中频微波纹产生机理(PDF)

《纳米技术与精密工程》[ISSN:1672-6030/CN:12-1351/O3]

期数:
2010年5期
页码:
439-446
栏目:
精密加工
出版日期:
2010-09-15

文章信息/Info

Title:
Mid-Spatial Frequency Micro-Waviness on Machined Surfaces by Ultra-Precision Fly-Cutting
作者:
安晨辉1王健2张飞虎3许乔2陈东菊3
1哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001;成都精密光学工程研究中心,成都,610041;2、成都精密光学工程研究中心,成都,610041;3、哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001
Author(s):
AN Chen-hui WANG Jian ZHANG Fei-hu XU Qiao CHEN Dong-ju
关键词:
中频微波纹 欧拉动力学方程 三维形貌仿真
Keywords:
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分类号:
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DOI:
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文献标识码:
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摘要:
超精密飞刀切削是一种重要的超精密加工手段,安装大飞刀盘的超精密铣床能够加工大口径超精密光学元件,加工表面具有很高的面形精度和很低的表面粗糙度值.但是加工表面普遍存在中频微波纹(空间周期从 100 μm到300 μm,幅值低于0.1 μm),极大影响了光学元件的使用.超精密铣床的主轴旋转精度对加工工件影响很大,尤其是主轴轴线偏转会使安装在大飞刀盘外缘处的刀具产生很大位移.为此,建立了适用于空气静压轴承支撑的立式主轴角位移欧拉动力学方程,推导出方程解析解,得出主轴运动规律及其对表面中频微波纹的影响,并设计实验进行验证.最终给出了抑制中频微波纹的工程措施.
Abstract:
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参考文献/References

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备注/Memo

备注/Memo:
国家自然科学基金资助项目
更新日期/Last Update: 2010-10-20