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大口径光学镜面超精密加工机床的研制(PDF)

《纳米技术与精密工程》[ISSN:1672-6030/CN:12-1351/O3]

期数:
2010年5期
页码:
428-432
栏目:
精密加工
出版日期:
2010-09-15

文章信息/Info

Title:
Development of Ultra-Precision Machine for Large-Sized Mirror Surface
作者:
李勇1张向阳2谢晓丹1
1清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084;2、北京双工精密机械有限公司,北京,102208
Author(s):
LI Yong ZHANG Xiang-yang XIE Xiao-dan
关键词:
光学镜面 超精密加工机床 纳米切削 气浮电主轴
Keywords:
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分类号:
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DOI:
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文献标识码:
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摘要:
设计制作了最大加工直径为φ880 mm的光学镜面超精密加工机床.该机床采用大理石床身、4轴数控联动、全气浮支承和零传动结构,以实现光学球、非球及自由形面的超精密切削.介绍了机床整体结构特点和性能参数,描述了气浮电主轴、气浮直线导轨、直驱回转工作台等关键技术及部件.该机床主轴回转精度0.05 μm,直线伺服轴分辨力1.25 nm,回转工作台角位移分辨力0.009″.在硬铝和无氧铜材料上分别加工出了面形精度0.5 μm、表面粗糙度5 nm的φ400 mm球面和面形精度0.5 μm/φ100 mm、表面粗糙度8 nm的非球形面.
Abstract:
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参考文献/References

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备注/Memo

备注/Memo:
上海市科委科研计划资助项目,摩擦学国家重点实验室自主研究重点课题资助项目
更新日期/Last Update: 2010-10-20