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非球面在线检测的系统误差分离与修正(PDF)

《纳米技术与精密工程》[ISSN:1672-6030/CN:12-1351/O3]

期数:
2010年5期
页码:
416-421
栏目:
精密测量
出版日期:
2010-09-15

文章信息/Info

Title:
System Error Separation and Revision for Aspheric Lens On-Machine Measurement
作者:
郭隐彪 郭江 柯晓龙 朱永炉
厦门大学物理与机电工程学院,厦门,361005
Author(s):
GUO Yin-biao GUO Jiang KE Xiao-long ZHU Yong-lu
关键词:
非球面 在线检测 误差分离与补偿修正
Keywords:
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分类号:
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DOI:
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文献标识码:
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摘要:
为了解决非球面在线检测的系统误差问题,针对系统误差产生的机理、误差的数学模型、分离方法以及补偿方法进行了研究.提出一种将空间误差投影到不同平面上进行分析从而解决测量系统误差的新方法并建立了各系统误差的数学模型.根据最小二乘法的基本思想,建立了基于标准球面的系统误差分离数学模型,得到了各参数的最小二乘估计值,并利用误差修正模型进行了校正.利用标准球面进行测量实验,验证了该方法的有效性和精确性.实验结果表明所提出的解决测量系统误差的思路可行,最终可使测量系统精度达到1 μm数量级,从而满足精磨阶段在线检测的需要.
Abstract:
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参考文献/References

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备注/Memo

备注/Memo:
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目,福建省科技创新团队发展计划资助项目
更新日期/Last Update: 2010-10-20