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基于ACPT技术的纳米振动测量激光干涉仪(PDF)

《纳米技术与精密工程》[ISSN:1672-6030/CN:12-1351/O3]

期数:
2010年5期
页码:
406-410
栏目:
纳米技术
出版日期:
2010-09-15

文章信息/Info

Title:
Laser Interferometer Based on ACPT Technique for Nanometer Vibration Measurement
作者:
刘彬彬 孙佳星 杨军 苑立波
哈尔滨工程大学理学院,哈尔滨,150001
Author(s):
LIU Bin-bin SUN Jia-xing YANG Jun YUAN Li-bo
关键词:
激光干涉测量 载波调制 交流相位跟踪 猫眼动镜 纳米测量
Keywords:
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分类号:
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DOI:
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文献标识码:
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摘要:
为实现高精度、高稳定的微小振动测量,设计了一种改进型迈克尔逊干涉仪,对其所采用的光学结构和解调算法进行了分析.信号解调方案基于载波调制和交流相位跟踪(ACPT)技术,相对应的光路采用双压电陶瓷(PZT)和准平面猫眼动镜以构成参考臂和测量臂,设计以改善信噪比、抑制低频干扰、增强系统稳定性、提高测量分辨力为目标.建立了纳米振动发生装置,搭建了振动信号测量系统,研究了激光干涉仪对振动信号的输出特性.实验结果表明,测量动态范围达到120 dB,信噪比高于40 dB,系统分辨力达到0.25 nm.该干涉仪可有效抑制诸如温度、湿度、压强、低频振动等带来的相位噪声的干扰,满足高精度、稳定、可靠的要求.
Abstract:
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参考文献/References

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备注/Memo

备注/Memo:
国家自然科学基金资助项目
更新日期/Last Update: 2010-10-20